诸位朋友，大家好！诺联芯在相继发布了低浓度的CF4传感器和高浓度的CF4传感器之后，又发布了一款泵吸式LARK-1M SF6 1000PPM的传感器，专门用于进口SF6传感器的替代，并且其性能比进口产品更优，价格更便宜。

1.    SF6是什么？

六氟化硫（SF6），在常压下是一种无色、无臭、无毒、不燃、无腐蚀的惰性气态物质。

-       气体密度：6.139g/L(20℃，0.101Mpa)

-       熔点：-50.8℃

-       凝固点：-63.8℃

-       临界温度：45.64℃

-       临界压力：3.84Mpa

-       临界密度：0.73g/cm^3

-       介电常数：1.002(25℃, 0.101 Mpa)

SF6的化学稳定性强，500℃ ~ 600℃不分解，和酸、碱、 盐、氨、水等不反应，在电弧作用下(几千度)分解为S和F的原子气，电孤一旦解除，还会复合成SF6。SF6具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氟气的2.5倍，击穿电压空气的2.5倍，灭弧能力空气的100倍，是一种优于空气和油的新一代高压绝缘介质材料。

SF6以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被广泛应用于电器工业，如：断路器、 高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。SF6还因其化学惰性、无毒 、不燃及无腐蚀性，还被广泛应用于金属冶炼（如熔融的镁和铝的保护、提纯）、航空航天、医疗（X光机、激光机）、气象（示踪分析）、煤矿（巷道气流分析）、化工（高级汽车轮胎、新型灭火器）等。电子级高纯SF6是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。随着当今科技的发展，SF6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用。

2.    LARK-1M CF4的特点

该传感器是的特点如下：

1.     0 ~ 1000ppm以内，分辨率<1ppm；

2.     线性好，R^2达到0.9999；

3.     响应时间T90时间小于5sec，恢复时间RT90小于6sec；

4.     1小时内，6次重复性，1000ppm处读数极差小于2ppm。

分辨率

从上图，我们可以看出，该传感器在低浓度的时候分辨率能够做到1ppm。

线性和精度

从上面两张图，我们可以得到如下结论，从0 ~ 1000ppm范围内，绝对最大误差是5ppm，出现在500ppm ~ 800ppm附近，相对误差为5/500 = 1.0%rel。考虑到质量流量控制器(MFC)的配气误差最大为1%rel，这个1%rel的读数误差已经相当不错了。

重复性

上图是8次交替通气N2和500ppm SF6的重复性实验，每次通气时间为5分钟。通过曲线，我们可以看出，其重复性的绝对值可以控制在3ppm以内。

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